半導体ウエハ搬送ロボットメーカー、広島県福山市本社。半導体関連（大気用ウエハ搬送装置、真空用ウエハ搬送装置、ウエハ搬送ユニット）、FPD関連（ガラス基板搬送機）、全自動気相分解装置の製造販売。主力製品はウエハ搬送装置（ウエハソータ、EFEM、ロボット・アライナ・ロードポート）、大型ガラス基板搬送装置。半導体ウエハ搬送システム（シリコンウエハを無塵搬送する装置）のパイオニア＆世界トップクラス。その他、ライフサイエンス事業（創薬、再生医療）は自動培地交換機能を搭載したインキュベータ（細胞培養装置）・モバイルロボットの開発・製造・販売、iPS細胞などの自動細胞培養ソフト開発。2023年不純物分析装置のイアス（IAS）を買収（67億円）。主要取引先はApplied Materials。