プラズマ用高周波電源装置メーカー。高周波技術・プラズマ技術をコアに半導体・液晶基板製造装置に搭載されるプラズマ発生用高周波電源、マッチングユニット/インピーダンス整合装置、マイクロ波の製造販売。プラズマ技術を応用した新製品の開発に取り組む。海外はアメリカ、イギリス、韓国、台湾、中国に営業拠点。ローツェ<6323>・広島大学とSiC基板向け大気圧プラズマ熱処理装置・非接触基板温度測定装置の開発を研究。子会社IDXは研究機関・大学向けに加速器用・医療装置用・プラズマ装置用など直流安定化電源・パルス電源・マイクロ波電源の研究・製造・販売（医療・環境、物質科学関連の研究開発用）。2022年大気圧ガスプラズマシステム「PlasmaTact」を開発。主要取引先はBeijing E-Town Semiconductor Technology、Applied Materials。