光源機器のトップメーカー。光源（紫外線/EUV光源・エキシマランプ、遠紫外線、ハロゲンランプ）、光学装置（露光装置、洗浄/改質装置、硬化装置）、映像装置（映写機・シネマランプ）の製造・販売。半導体製造プロセスから映画館・バイオまで、インダストリアルプロセス、ビジュアルイメージング、ライフサイエンス、フォトニクスソリューションの4事業で紫外線（EUV/極紫外線、遠紫外線）・可視光・赤外線の光ビジネスを展開。半導体露光用光源、液晶製造用ランプ、ICパッケージ基板向け露光装置、液晶パネル貼り合わせ装置、パネル光洗浄装置、映画プロジェクタ用ランプ、光配向装置は世界1位。半導体分野は最先端ICパッケージ基板向け露光装置、ダイレクトイメージング露光装置を供給。環境衛生分野は抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222」、光浄化技術「Clean172」の光オゾン脱臭・除菌装置「XEFIRIA」を供給。2023年タカラバイオ<4974>と業務提携（機器システム開発）、米アプライド・マテリアルズ社と戦略的パートナーシップを締結（デジタルリソグラフィ装置を共同で市場投入）。