半導体・FPD装置メーカー（ファブレス）。FPD製造装置（露光装置、外観検査装置、欠陥修正装置）、半導体製造装置（シリコンウェーハ検査・研磨装置、欠陥修正装置）、フォトマスク検査・測定装置の製造販売。FPD生産に必要なカラーフィルタ露光装置やモジュール検査装置を供給（国内トップクラス）。中国市場向け売り上げが約70%。FPD製造装置技術を基盤に半導体製造装置分野へ事業領域を拡大。半導体用パッケージング技術の微細化対応のHPC用ICパッケージ基板露光装置、インタポーザー基板露光装置、シリコンウェハ製造（結晶欠陥検査装置）、ラボ用装置（マスクレス露光装置、シリコンウェーハ用検査装置）の開発・販売を推進。2018年三菱重工から有機EL照明パネル子会社の米ルミオテック社を買収、イノテック<9880>と業務提携。2019年半導体製造装置・検査メーカーのナノシステムソリューションズを子会社化。主要取引先はXiamen Tianma Optoelectronics、広州華星光電半導体ディスプレイ技術、エイチ・ティー・エル。