半導体製造装置メーカー。半導体製造装置（洗浄装置、コータ・デベロッパ、熱処理装置）を中核に、ディスプレイ製造装置、成膜装置、プリント基板関連機器、グラフィックアーツ機器（印刷関連機器）の製造販売。（旧）大日本スクリーン。表面処理技術・直接描画技術・画像処理技術をコアに半導体市場、印刷市場、ディスプレー市場、プリント基板市場に洗浄装置（世界トップ）、リソグラフィー装置、熱処理装置、検査・計測装置などのソリューション製品を供給。半導体・液晶製造装置用の枚葉式洗浄装置・バッチ式洗浄装置・スピンスクラバー、印刷版出力装置（CTP）、ディスプレイ用コーターデベロッパーは世界トップ。その他、エネルギー分野（燃料電池・リチウムイオン二次電池用の電極材料塗工乾燥装置、燃料電池部材）、ライフサイエンス分野（3D細胞スキャナー、小型錠剤印刷機）で機器装置、ICTソリューションを提供。2016年組立品自動外観検査装置を開発。2017年有機ELに特化した第6世代対応塗布現像装置を開発。2020年米Applied Materials社と研究施設「META Center」における共同開発契約を締結。主要取引先はSiEn (QingDao) Integrated Circuits。